(1) 测量长度：                    0.1mm-200mm

   (2) 驱动：                           可使用操纵杆或计算机驱动

   (3) 直线度：                 0.09µm +0.0037µm/mm * 水平移动长度(mm)

   (4) 移动速度：                    0.5/1.0/2.5/5.0/10.0mm/秒

   (5) 测量速度：                    0.5 mm/秒 或1.0mm/秒

  (6) 水平方向数据采集间隔：      0.5-30mm测量长度时0.25µm

30-200mm测量长度时1µm

 

   (1) 材料：                           环氧花岗岩

   (2) 扫描箱移动高度：          450mm(标准)，700mm(选购)

   (3) 驱动：                           可使用操纵杆或计算机驱动

   (4) 垂直移动速度：             0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒

   (5) 扫描箱倾斜：                 ±9º，机动