立式配置 激光干涉仪应用

-立式和卧式配置 有什么不同？

-立式配置 有什么优势？

-何时该选择 何种立式配置？

以水平卧式的方式，放置样品，是菲索式激光干涉仪*常见的配置。如上图，整个干涉腔，包括干涉仪主机，测试样品及参考镜，相关夹具，都放置在抗振平台台面上。

这样的配置，*大的优势在于对不同应用的适应性。在卧式配置下，无论是平面还是球面样品；表面或者透射波前的测量，都可以很快切换，除了平台尺寸之外，几乎没有限制。

在某些应用场合，基于测试效率，样品夹持，测试方式或精度的要求，立式配置会更有优势。

·        工业现场测试环境下，立式配置下，样品的夹持放置，更有效率，更加稳定。

·        对于很多超高精度测量，要求样品表面保持和工作状态一致的条件下测量。

·        立式配置对于某些特殊应用的特殊优势，比如高精度曲率半径测量，大口径平面样品的拼接测量。

·                    激光干涉仪在立式配置下，样品的放置，夹持和调整更方便，提高了测试效率。

·                    立式架构整机占地更小；整个干涉腔，处于稳定的框架结构下，这样对抗振要求更低，可省去昂贵和庞大的抗震平台。

这些优势，都非常适合在工业现场，有限的空间里，高效测量的要求。平面样品测量对腔长没有要求，更适合于立式配置；如上图左ZYGO平面立式系统，紧凑的结构，很小的占地空间，可以以桌上系统的方式，高效测量。

球面样品测试对腔长有要求，需要基于不同样品调整。上图中为ZYGO老型号的球面立式下视系统，这一配置下干涉仪主机在上，重心提高，对于抗振控制提出较高要求。

新的ZYGO立式球面测量系统VTS，如上图右，采用上视配置，其重心位置更合理，抗振效果更好；同时上视系统夹具对球面样品，复位性更好。

须注意立式球面与卧式配置相比，其适用性比较差，比如测长曲率半径，大口径凹面样品等等时候，立式配置有局限性。立式球面配置，适合于工业定型产品，现场大批量高效测量。

·                    很多超高精度的球面透镜，其工作状态为立式，需要在其工作状态下测试；

·                    在立式架构下，球面样品的支撑及夹具，对样品形貌造成的影响更小；

·                    基于立式的导轨平台，更适合于高精度的曲率半径测量；

超高精度的球面干涉仪，无论是测量表面形貌，还是曲率半径，常采用立式配置。如上图左 ZYGO 300mm立式球面激光干涉仪 VWS

·        保持和工作状态一致，也是很多大口径平面样品，采用立式配置检测的原因；

·        平面样品更适合于采用拼接技术，以突破干涉仪本身口径，测试更大区域。相对于卧式系统，立式配置更适合于拼接测量。如上图右，ZYGO 600mm+，平面拼接激光干涉仪，就采用了立式配置。