产品详情
  • 产品名称:英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪

  • 产品型号:CCI LITE
  • 产品厂商:英国TAYLOR HOBSON
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简单介绍:
TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接触形貌仪采用CCI(砖利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度、三维及二维尺寸、表面缺陷检测分析并生成统计报告
详情介绍:
英国Taylor Hobson非接触形貌仪: CCI Lite非接触形貌仪采用CCI(砖利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度、三维及二维尺寸、表面缺陷检测分析并生成统计报告;
英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪: 
1.      减震基座及立柱:
  铸铝基座:结合气浮减震,提高测量的稳定性和重复精度
 钢结构立柱:提高测量回路的坚固性和稳定性,降低外部震动影响
 
2. 系统参数
   (1) 干涉类型 :   CCI 干涉,泰勒霍普森砖利相干相关算法
   (2) 测量量程:    2.2mm(标准), >10mm是采用数据拼接
   (3) 分辨率:        0.1 A
   (4) RMS重复性:   <0.02nm
   (5)垂直扫描速度: 7 um/s
   (6) 测量点数:        1 1024 x 1024 点阵
   (7) X Y 轴单次测量范围: 0.36 – 7.2 mm
      (8) X Y 轴分辨率:         0.4-0.6um
   (9) 台阶高度的重复性: >0.1 %
   (10)系统噪音:                  <0.08nm
   (11)测量时间:                 典型样品5-20秒
(12) 被测件的反射率:     0.3 –100%
 
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