新型LUPHOScan 75 HD三维非接触微小镜片自动测量系统

      泰勒·霍普森公司（TAYLOR HOBSON）在近期全新推出一款高速、精密的三维非接触式微小镜片自动测量系统LUPHOScan 75 HD，实现了非接触3D形貌测量的全自动化，可在120秒内完成调整、测量和分析。

LUPHOScan 75 HD具有更短的完整测量周期，为大批量生产带来实验室级的精度。只需单击一下即可获得始终如一的准确结果。任何级别的操作员都可以获得快速、高精度的测量结果。

·     自动对准光学工件

·     使用FPP（Focal Point Pivot）技术实现更短的测量周期

·     高重复精度:≤30 nm PV  

·     优异的稳定性: Power变化<±15 nm ,  PV变化<±1.5 nm  

·     几何特征分析:如与光学表面相关的定位坎合面和边缘直径

#测量原理

在测量过程中，传感器在整个被测物体的表面进行螺旋式扫描，并生成高密度的三维数据。

工件在气浮旋转平台上旋转，传感器在移动轴上沿工件径向理论曲线移动从而完成扫描。

旋转平台使传感器与物体表面保持垂直，移动轴的布局提供了很高的灵活性，能从容应对非常规的表面形状(包括陡峭的坡度或带有拐点的轮廓)。

▲LUPHOScan扫描传感器的运动

#自动调心调平

新型LUPHOScan 75 HD增加了全新的自动调心调平台，让仪器真正实现自动化。

·     消除对操作员技能的依赖

·     通过自动可重复的调心和调平实现测量一致性

·     以更短的设置时间提高产能

·     “一键”对准、测量和分析 

#快速而简便的工件设置

只需单击一下，自动调心和调平就可以：

·     评估工件的偏心和倾斜状态

·     将工件倾斜调整至< 5′′ 

·     将工件中心降至1μm偏心度

#为未来做好准备

LUPHOScan 75 HD面向未来，可实现完全自动化集成：

·     脚本功能，便于人机对话

·     OP-UA兼容性

·     优化流程，降本增效

#使用FPP (Focal Point Pivot)技术缩短测量时间

测量周期时间*多可缩短65%,且无精度损失!

·     传感器焦点与轴心点对齐

·     ΔZ和 ΔR小 传感器旋转大

·     ΔZ和 ΔR小 → 测量速度更快

▲大圆弧镜设计有助于缩短测量周期时间